Schurig, PhilippPhilippSchurigMichel, FabianFabianMichelBeyer, AndreasAndreasBeyerVolz, KerstinKerstinVolzBecker, MartinMartinBeckerPolity, AngelikaAngelikaPolityKlar, Peter J.Peter J.Klar2022-09-062022-09-062020https://jlupub.ub.uni-giessen.de/handle/jlupub/7461http://dx.doi.org/10.22029/jlupub-6911enNamensnennung - Nicht kommerziell - Keine Bearbeitungen 4.0 Internationalddc:530Progress in Sputter Growth of ß-Ga2O3 by Applying Pulsed-Mode Operation