Der Modellierungsprozess und die Auslegung eines Radiofrequenz-Ionentriebwerks : ein Simulationstool zur Untersuchung des Plasmas, der Ionenoptik, der induktiven Leistungseinkopplung und der Hochfrequenzgenerierung sowie deren verkoppelten Verhaltens

Reeh, AndreasAndreasReeh2023-02-092021-04-072023-02-092021http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:hebis:26-opus-160060https://jlupub.ub.uni-giessen.de/handle/jlupub/10460http://dx.doi.org/10.22029/jlupub-9844In dieser Arbeit wird ein Modell - inklusive mathematischer Lösung und deren Implementierung - zur Simulation von induktiv gekoppelten Ionenquellen mit Gitterextraktionssystem sowie deren peripheren RF-Komponenten vorgestellt. Hierbei steht die Anwendung der Ionenquelle als Radiofrequenz-Ionentriebwerk im Vordergrund. Die Auslegung bzw. Optimierung des Triebwerks wird diskutiert. Zudem werden die Simulationsergebnisse einer Radiofrequenz-Ionenquelle für Materialbearbeitung mit 4 cm Durchmesser (RIM-4) vorgestellt, diskutiert und validiert.de-DEIn CopyrightRadiofrequenz-IonentriebwerkPlasmaphysikSimulationModellierungsprozessradio-frequency ion thrusterplasma physicssimulationmodeling processddc:530Der Modellierungsprozess und die Auslegung eines Radiofrequenz-Ionentriebwerks : ein Simulationstool zur Untersuchung des Plasmas, der Ionenoptik, der induktiven Leistungseinkopplung und der Hochfrequenzgenerierung sowie deren verkoppelten Verhaltens