Statistik
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| Ionenstrahlsputterdeposition ... | 36 |
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| Ionenstrahlsputterdeposition ... | 0 | 3 | 9 | 4 | 4 | 5 | 3 |
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| Deutschland | 19 |
| Vereinigte Staaten von Amerika | 11 |
| Frankreich | 1 |
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| Singapore | 1 |