Diese Arbeit behandelt verschiedene Aspekte der Funktionalisierung der Si(001)-Oberfläche mit bifunktionalen organischen Molekülen und ist dabei in drei Teilprojekte gegliedert.Mit der Reaktion des Benzylazids 1-(azidomethyl)-4-methylbenzol auf Si(001) wurde zuerst ein System untersucht, bei dem die möglichen Endzustände im Vordergrund standen. Es konnte mittels STM- und XPS-Messungen sowie durch DFTRechnungen unserer Kooperationspartner gezeigt werden, dass das Benzylazid via N2-Eliminierung in zwei verschiedene Endzustände reagiert. Es existiert ein ausschließlich über den verbleibenden Stickstoff an die Oberfläche gebundener Zustand und ein zusätzlich mit dem Benzolring anbindender zweiter Endzustand. Die Verteilung der Zustände liegt bei etwa 1 : 1, wobei eine Konversion zwischen den Konfigurationen nur in sehr kleiner Zahl beobachtet wurde. Außerdem wurde mittels STM und mit Hilfe der DFT-Rechnungen ein bei 50 K stabiler Zwischenzustand gefunden, bei dem die drei Stickstoffatome des Azids gemeinsam mit einem Si-Dimer einen Fünf-Ring bilden.Ausgehend von der Kenntnis zur Adsorption auf sauberem Silizium konnten diese Ergebnisse als Referenz für die Adsorption organischer Schichten bifunktionaler Moleküle genutzt werden, da sich das Azid sehr gut für die zweite Lage auf mittels Ethinyl-cyclopropyl-cyclooctin (ECCO) funktionalisiertem Silizium eignet. ECCO bindet selektiv an die Si-Oberfläche, sodass stets die Ethinylgruppe als Angriffspunkt für weitere Adsorptionen zur Verfügung steht. Es konnten, unter bestimmten experimentellen Rahmenbedingungen und in geringem Maße, die Kupplung zwischen der Azidgruppe und der Ethinylgruppe des Cyclooctins mit Hilfe von Röntgenphotoelektronenspektroskopie nachgewiesen werden.Die Wechselwirkung zwischen funktionellen Gruppen in einem Molekül und deren gegenseitige Beeinflussung bei der Adsorption wurde anhand der Allylether Allyl-Methylether und Allyl-Ethylether untersucht. Die Allylether reagieren, wie vom Diethylether bekannt, dissoziativ. Es konnten jeweils vier potentielle Endkonfigurationen detektiert werden, wobei je zwei, abhängig von der Position der Etherspaltung, nicht voneinander unterscheidbar sind. Bei Temperaturen von 150 K konnte nur ein kleiner Anteil des Gesamtsignals einem dativ gebundenen, zeitlich stabilen Zwischenzustand zugeordnet werden. Dies steht im Kontrast zu den Ergebnissen der Adsorption des Diethylethers bei dieser Temperatur, für den nahezu ausschließlich der dative Zwischenzustand beobachtet wird.In allen drei Fällen zeigte sich die Komplexität der untersuchten Reaktionen. Nur bei einem guten Verständnis dieser Prozesse ist es möglich, diese organischen Moleküle in Anwendungen wie zum Beispiel der molekularen Elektronik einzusetzen.
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