Der Modellierungsprozess und die Auslegung eines Radiofrequenz-Ionentriebwerks : ein Simulationstool zur Untersuchung des Plasmas, der Ionenoptik, der induktiven Leistungseinkopplung und der Hochfrequenzgenerierung sowie deren verkoppelten Verhaltens

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2021

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http://dx.doi.org/10.22029/jlupub-9844

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In dieser Arbeit wird ein Modell - inklusive mathematischer Lösung und deren Implementierung - zur Simulation von induktiv gekoppelten Ionenquellen mit Gitterextraktionssystem sowie deren peripheren RF-Komponenten vorgestellt. Hierbei steht die Anwendung der Ionenquelle als Radiofrequenz-Ionentriebwerk im Vordergrund. Die Auslegung bzw. Optimierung des Triebwerks wird diskutiert. Zudem werden die Simulationsergebnisse einer Radiofrequenz-Ionenquelle für Materialbearbeitung mit 4 cm Durchmesser (RIM-4) vorgestellt, diskutiert und validiert.

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