Progress in Sputter Growth of ß-Ga2O3 by Applying Pulsed-Mode Operation

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Datum
2020
Autor
Schurig, Philipp
Michel, Fabian
Beyer, Andreas
Volz, Kerstin
Becker, Martin
Polity, Angelika
Klar, Peter J.
Metadaten
Zitierlink
http://dx.doi.org/10.22029/jlupub-6911
Erstpublikation in

Physica status solidi. A, Applied research 217 (2020), 1901009

URI der Erstpublikation
https://doi.org/10.1002/pssa.201901009
Sammlungen
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